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氣溶膠稀釋器主要作用是通過對氣溶膠進行稀釋從而降低氣溶膠的濃度，以滿足粒徑譜儀、采樣器、光學粒子計數器等氣溶膠研究儀器使用要求的儀器。儀器通過一個細的毛細管采集一部分氣溶膠顆粒，毛細管流動比率保持不變，其余部分的氣溶膠通過旁路被HEPA過濾器過濾掉，然后將毛細管和旁路兩股氣流進行均勻混合，使得毛細管中的顆粒濃度得以稀釋。保持一定的毛細管與旁路的比率，就能形成固定的顆粒稀釋比。稀釋比例最高可達100倍。
依據ISO14644-3、潔凈室及相關受控環境檢測技術分析與應用GB/T36066-2018，對已裝過濾系統檢漏時通常采用氣溶膠光度計法和離散粒子計數器(DPC)法。兩種方法均采用氣溶膠發生器在過濾系統的上風側注入20~80mg/m3的氣溶膠，通過氣溶膠光度計或粒子計數器先后測試過濾系統上風側和出風口的氣溶膠濃度，完成檢漏測試。
氣溶膠稀釋器的三種校準方法：
氣溶膠光度計法、光學粒子計數器、流量測定法對氣溶膠稀釋器的稀釋比進行校準。
目前氣溶膠稀釋器主要分為限流稀釋器、流量稀釋器兩種。
限流稀釋器通常由三個主要元件組成：HEPA或者ULPA過濾器、稀釋控制閥、限流器。稀釋控制閥用于調整稀釋比、一般為多線圈螺紋針閥。氣溶膠限流器可能是(但不限于)針孔、玻璃或者金屬毛細管、注射針管。
流量稀釋器通常由三個主要部分組成：HEPA或者ULPA過濾器、稀釋控制器、流量計。通過稀釋控制器和流量計來調整稀釋比。為了獲得準確的稀釋比，需選用準確等級較高的流量計。
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