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掃描電鏡日常維護要注意哪些細節

來源:安徽澤攸科技有限公司   2022年06月14日 11:21  
  掃描電鏡一種新型的電子光學儀器。它具有制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數十年來,掃描電鏡已廣泛地應用在生物學、醫學、冶金學等學科的領域中,促進了各有關學科的發展。
 
  掃描電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆 粒,成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是最主要 的成像信號。由電子槍發射的能量為 5 ~ 35keV 的電子,以其交 叉斑作為電子源,經二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度 和束斑直徑的微細電子束,在掃描線圈驅動下,于試樣表面按一定時間、空間順序作柵網式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用,產生二次電子發射(以及其它物 理信號),二次電子發射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號被探測器收集 轉換成電訊號,經視頻放大后輸入到顯像管柵極,調制與入射電子束同步掃描的 顯像管亮度,得到反映試樣表面形貌的二次電子像。
 
  掃描電鏡的日常維護
 
  1.保持儀器操作臺面整潔,不允許身體倚靠,凍水機等裝置不可放置重物
 
  2.開機時一定要先開水冷系統,并要檢查冷卻水的溫度,關機至少15分鐘后才能關閉冷卻水
 
  3.進樣品時,檢查Z軸和T軸的位置.緩緩關閉樣品室,確保進樣倉門*關閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣
 
  4.移動樣品,通過配合移動Stage Driver 將載物臺向X軸和Y軸方向移動,從而移動樣品,并保證小于最大允許值
 
  5.傾斜樣品,-10°~+45°,要十分當心,不要撞壞探頭。要根據樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度,注樣品可傾斜的最大安全角度必須小于允許值,防止樣品撞傷物鏡極靴
 
  6.用BSE探頭時不可傾斜樣品臺
 
  7.樣品只有在加速電壓關閉的情況下才可取出,不作樣品掃描時要關閉高壓
 
  8.放氣時HT必須處于關閉狀態,必須等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門
 
  9.更換鎢燈絲時, 等待兩分鐘時間,然后打開電子槍,用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩,以免被燙傷
 
  10.電鏡需要手動調節的部分主要有光闌,象散,工作距離調節的旋鈕等,其他部件不允許調整
 
  11.每周加兩到三次液氮,兩次間隔不超過四天。

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