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內部量子效率反應了太陽能電池對不同波長的光電轉換效率，而太陽能電池轉換效率的好壞，受到了電池本身材料、制程、結構等因素影響，使其不同波長有不同的轉換效率。利用光譜響應技術來檢測、分析電池在不同條件下，所造成轉換效率的變化，可以分析制程的優劣，并找出相關效率的關鍵因素。
原理是用強度可調的偏置光照射太陽電池，模擬其不同的工作狀態，同時測量太陽電池在不同波長的單色光照射下產生的短路電流，從而得到太陽電池的光譜響應。其計量特性包括：單色光光斑不均勻性、偏置光光斑不均勻性、偏置光光譜匹配度、相對光譜響應測量示值誤差、光譜響應測量重復性、短路電流測量示值誤差、反射率測量示值誤差、波長示值誤差、光譜帶寬、溫控平臺示值誤差、穩定性和均勻性。
內部量子效率系統的技術特點：
（1）完整的太陽能電池量子效率測試和分析解決方案；
（2）移動樣品平臺，準確固定樣品；
（3）圖形化界面軟件，操作方便；
（4）支持Exce1、ASCII、XL格式數據導出；
（5）報表打印功能，自動生成完整的測試報告；
（6）溫度控制功能，IEC標準測試條件；
（7）直流和交流兩種測量模式供選擇；
（8）適用于各種材料的太陽能電池，包括硅太陽能電池、半導體薄膜太陽能電池、染料敏化太陽能電池、鈣鈦礦太陽能電池等；
（9）適用于多種結構的太陽能電池，包括單結、多結、異質結、薄膜、高聚光等。
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