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電子遷移率光譜儀在化學(xué)過濾器有效率的資格確認(rèn)應(yīng)用
電子遷移率光譜儀用于檢測(cè)空氣分子級(jí)污染（AMC)，在監(jiān)測(cè)到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體時(shí)提醒用戶。它具有ppt級(jí)的靈敏度，傳感器反應(yīng)迅速、監(jiān)測(cè)選擇性廣、性能穩(wěn)定。AirSentryII傳感器配有中央控制軟件，可以輕松地采集分析數(shù)據(jù)。AirSentryII傳感器提供連續(xù)可追溯的數(shù)據(jù)，來快速回應(yīng)污染源和污染事件。
電導(dǎo)率與遷移率和載流子濃度的乘積成正比。例如，相同的電導(dǎo)率可能來自于每個(gè)具有高遷移率的少量電子，或來自每個(gè)具有低遷移率的大量電子。對(duì)于金屬而言，通常情況并不重要，因?yàn)榇蠖鄶?shù)金屬的電行為僅取決于導(dǎo)電率。因此，遷移率在金屬物理學(xué)中相對(duì)不重要。另一方面，對(duì)于半導(dǎo)體，晶體管的行為取決于存在的是低遷移率的電子是多少，還是高遷移率的電子很少，其他設(shè)備可能會(huì)有很大不同。因此，遷移率是半導(dǎo)體材料非常重要的參數(shù)。在其他條件相同的情況下，更高的移動(dòng)性幾乎總是可以帶來更好的設(shè)備性能。
電子遷移率光譜儀應(yīng)用
1.在蝕刻技術(shù)位置里的實(shí)時(shí)腐蝕監(jiān)測(cè)
2.在關(guān)鍵的光刻系統(tǒng)內(nèi)的實(shí)時(shí)胺類以及氨的監(jiān)測(cè)
3.化學(xué)過濾器有效率的資格確認(rèn)
4.遍及潔凈室以及生產(chǎn)工具里的污染源的追蹤和去除
5.前端開口片盒圓晶片存儲(chǔ)模塊內(nèi)的污染分析
電子遷移率光譜儀布置在漂移室中的離子修改器，所述漂移室具有門，所述門被配置用來控制離子進(jìn)入所述漂移室，所述離子修改器被配置用來修改進(jìn)入所述漂移室的離子的一部分；以及控制器，所述控制器通信地連接到所述離子修改器，用來控制所述離子修改器的操作以通過同步所述離子修改器的操作與所述門的打開以選擇要被修改的所述離子的一部分來選擇由樣品形成的所述離子的一部分及防止至少一些其他離子傳向檢測(cè)器，其中所述控制器被配置為控制所述離子修改器的操作，以基于所述檢測(cè)器先前的響應(yīng)來選擇所述離子的所述部分。
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