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三維輪廓儀是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的電子測量儀器，它適用于待測物體幾何形狀的全尺寸三維數(shù)字化檢測。工業(yè)三維掃描儀具有工業(yè)級高精度和高穩(wěn)定性，在嚴(yán)苛的環(huán)境下仍可提供高精度三維掃描數(shù)據(jù)。
測量原理：
三維輪廓儀采用激光三角反射式原理：激光束被放大形成一條激光線投射到被測物體表面上，反射光透過高質(zhì)量光學(xué)系統(tǒng)，被投射到成像矩陣上，經(jīng)過計算得到傳感器到被測表面的距離（Z軸）和沿著激光線的位置信息（X軸）。移動被測物體或輪廓儀探頭，就可以得到一組三維測量值。
主要特點：
1、使用白光干涉量測技術(shù)，非破壞性、快速表面形貌量測與分析；
2、模塊化設(shè)計可依量測需求及預(yù)算考慮進(jìn)行各部件選配；
3、自動化快速自我校正，確認(rèn)系統(tǒng)量測能力；
4、提供中/英文程序界面切換；
5、具備暗點以及邊界錯誤問題修正算法；
6、友善的人機接口，簡單的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖型顯示；
7、可交換式的文件格式，可儲存與讀取數(shù)種3D輪廓文件格式；
8、可搭配彩色或單色相機進(jìn)行2D量測，使系統(tǒng)亦具備工具顯微鏡量測功能；
9、搭載電動鼻輪，可同時掛載多種物鏡并程控切換使用；
10、提供多種表面參數(shù)量測功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度。
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