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隨著國內半導體和光伏產業的快速發展，對高純氣體尤其是高純特種氣體的需求，對氣體質量的要求也越來越高。大部分特殊氣體具有毒性、易燃易爆、強腐蝕性和強氧化性，如H2Se、SiH4、Cl2和NF3。因此，如何安全、穩定、可靠地儲存和運輸特殊氣體越來越受到企業的關注。下面高純特氣閥門就來談談特種氣體安全運行管理注意事項。
1、嚴格按照安全操作規程操作
特種氣體系統在投入使用之前，已經將安全設計理念貫穿其中，特種氣體系統的運行和維護都有相應的標準操作規程。特種氣體系統的換瓶、維護等日常操作應由兩人進行，并進行監督，確保每一步操作都按照安全步驟進行。盡管如此，人為因素仍然是造成特種氣體事故發生的最主要因素。事故統計表明，幾乎所有特種氣體責任事故都是由操作人員未嚴格按照操作規程操作造成的。
特種氣體經營管理人員必須取得危險化學品經營安全資質、壓力容器和壓力管道經營資質。此外，相關人員上崗前必須接受特種氣體設備操作、維護、操作及異常處理的專業培訓。值得注意的是，許多特殊氣體事故往往是由具有一定經驗的熟練操作人員造成的。究其原因，操作人員已經度過了新手對特種氣體的恐懼階段，感覺自己掌握了特種氣體的專業知識。因此，他們在特種氣體操作過程中注意力不集中，跳過了安全操作程序的一些步驟，最終導致事故發生。
2、注意特殊氣體系統的狀態和儀表值的變化
特種氣體運營管理中一個很重要的關鍵詞就是“變”。一般情況下，可以從特種氣體系統故障發生前或發生故障但未報警時系統狀態或儀表值的變化來發現異常。
經營者應當每天對特種氣體系統進行多次現場檢查和巡回檢查。特殊氣體系統的狀態和儀表值是點檢和巡檢的重要內容，如壓力、溫度、重量等，也包括所有氣體檢測儀的檢測值。在標準抽查表中，對特種氣體儀表的值有一個管理值。例行檢查時，操作者應檢查各項值是否在管理值范圍內。如果超過管理值，經營者必須立即查明原因。
值得注意的是，作為特種氣體操作人員，對特種氣體系統的狀態變化要有足夠的敏感性。即使某些值的變化在管理值范圍內，也要分析變化的合理性。此外，雖然系統狀態和儀器值在管理值范圍內，但并沒有發生變化，這也是一種異常表現。需要檢查傳感器等電子元件是否出現故障。
3、特種氣體泄漏應急處理
特種氣體作業現場對每一次特種氣體泄漏都有應急處置程序，還需要定期進行特殊氣體泄漏的培訓和演習。
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