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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 訂貨號 | 176.0755.4908. |
全新USHIO牛尾 分體式投影曝光系統
全新USHIO牛尾 分體式投影曝光系統
USHIO 一直提供專門用于服務器、個人電腦、智能手機和平板電腦等移動設備中使用的封裝應用的步進機。這是一款封裝基板用步進機，采用了Ushio多年來積累的光源和光學技術以及我們 的大面積投影透鏡技術，并使用了與面板尺寸相對應的平臺。它實現了高生產率，同時實現了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度。
[元件技術]
配備*占有率*的超高壓UV燈
具有高均勻性的 照射光學系統
的大面積投影鏡頭
響應基板特定畸變的對準技術
的TTL非曝光波長/對準方法
Ushio的技術“TTL非曝光波長對準"在觀察掩模標記時無需暴露基板上的對準標記。此外，由于可以直接觀察工件標記，因此不會因掩模而降低對比度，并且可以與清晰的標記進行高精度對準。
兼容多種對準標記
由于支持對已登記圖案的圖案匹配，因此無需專用對準標記，即可與各種布線圖案進行對準。
高分辨率能力
配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實現高分辨率。支持全面量產，設計規則線距=5μm。
深景深
由于焦點深度較深（±50 至 100 μm），因此即使由于基板的臺階、翹曲或波紋而導致焦點偏離，也可以獲得與正確對焦時相同的圖案輪廓。當曝光較厚的干膜、阻焊劑等時尤其有效。
使用表面平臺進行高速步進和重復
通過使用精密空氣軸承消除摩擦，并通過平面電機結構使運動部件更輕、更堅固，實現了高速步進重復操作。此外，表面平臺使用激光干涉儀進行反饋控制，實現高速運行和高定位精度。
面罩無損傷
| 模型 | UX-5881SC | UX-5894SC | UX-58112SC |
|---|---|---|---|
| 曝光面積 | □250毫米 | □250毫米 | □250毫米 |
| 板尺寸 | SEMI 標準 510 x 515mm | ||
| 解決 | 16μm長/秒 | 5μm長/秒 | 3μm長/秒 |
| 曝光波長 | 線 | 我行 | 我行 |
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