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德國CMC微量水的主機采用陶瓷傳感器，此傳感器應用夾膜半導體技術和金屬制陶技術制作而成，具有可靠性。該陶瓷是惰性的，具有響應快，穩定性好，可用于多種惰性氣體測量當傳感器暴露于氣體中時，氣體中的水汽分壓的變化會引起電參數的變化，通過測量電參數的變化就可以測量到氣體的濕度。是一套工業在線分析微量水裝置，是在線連續分析測量氣體成份的成套系統。它廣泛應用于化工、電力、環保、空分、制氫、制氧和生物發酵等工業生產過程氣體(如H2、H4O、CO、CO2、S02、NHk、CL2、Ar、CH、CHsOH等)中微量水在線分析測量，為生產流程提供可靠的工藝參數，為安全運行提供有力保證。
德國CMC微量水的測定方法：
卡爾.費休庫倫可以簡單地理解為氣體的水蒸氣含量達到飽和時的溫度，這是表示氣體絕對濕度的方法之一。因此，卡爾.費休庫倫儀是一種特殊的濕度計。常用的卡爾.費休庫倫計有冷凝式和氟化鋁式。是筒單的卡爾.費休庫倫儀，稱為卡爾.費休庫倫杯。金屬圓簡里裝滿了容易氣化的液體。當溫度略低于周圍氣體的卡爾.費休庫倫時，金屬圓筒的表面將因冷凝而失去光澤。此時，溫度計上顯示的值是被測氣體的卡爾.費休庫倫。
陶瓷氧化鋁傳感器的卡爾.費休庫倫工作原理是基于水的導電性。多孔吸濕層像“三明治”一樣夾在陶瓷基板上的兩個導電層之間。吸附水分子后，吸濕活性層的導電性將發生變化。采用氧化鋁超薄膜電容測量原理。其內芯為高純鋁棒，表面氧化成氧化鋁膜，并涂有多孔金膜。在金膜和內芯之間形成電容以形成傳感器。當水蒸氣分子被吸入時，電容值發生變化。濕度可以通過檢測和放大電容信號來獲得。
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