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X射線熒光光譜儀具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。RoHS檢測設備是為了控制生產商生產的產品中對人體健康有害的重金屬含量。比如空調、洗衣機、吸塵器、熱水器、手機、這些產品在人們生活中都會經常遇到，所以如果重金屬超標會影響人體健康。能分析F(9)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油(oil)、玻璃材質等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。
X射線熒光光譜儀工作原理如下
用X射線照射試樣時，試樣可以被激發出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長分開，分別測量不同波長的X射線的強度，以進行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。RoHS檢測儀不僅縮短了測試耗時，而且削減了分析費用。它可以現場完成有害元素的檢測和分析。由于X光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型。下是這兩類儀器的原理圖。
用X射線照射試樣時，試樣可以被激發出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長分開，分別測量不同波長的X射線的強度)，以進行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。ROHS分析儀確保無放射性，多種可選擇的濾波器。
可即時傳送、讀數，其主要部件是一根微小的X射線管和高分辯率探測器。從而確保分析檢測質量，測試時間可在20秒內完成。由于X光具有一定波長，同時又有一定能量)，因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型。
X射線熒光光譜儀分析的一般步驟是：選擇分析方法(method)，樣品制備，儀器參數選擇與校準曲線的制作(Make)，試樣分析。
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