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X射線熒光光譜儀的發(fā)展歷史，最早可以追溯到1895年，德國物理學(xué)家威廉·康拉德·倫琴于這一年11月發(fā)現(xiàn)并識別出了X射線，因此，X射線在許多國家也被稱之為倫琴射線。
隨后在1909年，英國物理學(xué)家查爾斯·格洛弗·巴克拉發(fā)現(xiàn)了從樣本中輻射出來的X射線與樣品原子量之間的聯(lián)系;四年之后，也即在1913年，同樣來自英國的物理學(xué)家亨利·莫斯萊發(fā)現(xiàn)了一系列元素的標(biāo)識譜線(特征譜線)與該元素的原子序數(shù)存在一定的關(guān)系。
這些發(fā)現(xiàn)都為人們后期根據(jù)原子序數(shù)而不是根據(jù)原子量大小提煉元素周期表奠定了基礎(chǔ)，同樣也為人們建立起第一個X射線熒光光譜儀(XRF)打下了堅實的理論基礎(chǔ)。然而，直到1948年，Herbert Friedman 和Laverne Stanfield Birks才建立起一臺X射線熒光光譜儀，這為后續(xù)光譜儀的商業(yè)化使用開辟了道路。
通常把X射線照射在物質(zhì)上而產(chǎn)生的次級X射線叫做X射線熒光(X-Ray Fluorescence)，而把用來照射的X射線稱為原級X射線，所以X射線熒光光譜儀仍然屬于X射線范疇。
一臺典型的X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管主要負(fù)責(zé)產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，隨后該射線對被測樣品進(jìn)行激發(fā)，受激發(fā)的樣品中的每一種元素在被激發(fā)后會放射出二次X射線，但樣品中元素種類的不同以及它們吸收外部X射線能量的多少都會影響到它們發(fā)射出的二次X射線的輻射能量大小(類似于可見光的顏色)，不同類型的元素都會發(fā)出不同的能量或者顏色，因此不同的元素所放射出的二次X射線都具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量信息，隨后儀器軟件將該探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量等信息。
值得一提的是，X射線熒光光譜儀分析技術(shù)是一種非侵入式、能夠?qū)Σ煌牧现械幕瘜W(xué)組成實現(xiàn)快速分析的無損檢測技術(shù)。這些特性使得該分析技術(shù)在許多方面都更加實用且更具優(yōu)勢。其主要應(yīng)用范圍包括：金屬合金材料的可靠性鑒別(PMI)、危險品檢測、材料驗證以及司法科學(xué)等方面。
近年來，X射線熒光光譜儀分析技術(shù)的進(jìn)步主要體現(xiàn)在儀器成本的降低和體積尺寸的減小，這些進(jìn)步均有效的擴(kuò)大了XRF的使用范圍。
68年后，一種新型的X射線熒光技術(shù)誕生
第一個受益于這種新型X射線熒光技術(shù)的無疑是制造業(yè)、機(jī)械加工、金屬加工、廢品回收以及鋼鐵回收等行業(yè)中的質(zhì)量管理部門，對于這幾個行業(yè)，幾乎所有人都會非常關(guān)心他們產(chǎn)品的質(zhì)量問題。
此外，一些先前因為成本高昂而從未考慮過使用X射線光譜分析技術(shù)的領(lǐng)域也能受益于此并開始使用XRF，包括航空航天、汽車和醫(yī)療儀器等行業(yè)。
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