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三維形貌儀是一種科學(xué)儀器，是用來偵測并分析現(xiàn)實(shí)世界中物體或環(huán)境的形狀(幾何構(gòu)造)與外觀數(shù)據(jù)(如顏色、表面反照率等性質(zhì))。可分為接觸式、非接觸式、激光等類型。
三維形貌儀的應(yīng)用有三維表面輪廓測量、粗糙度測量、膜的臺階高度測量、空間分析和表面紋理表征、曲率測量、二維薄膜應(yīng)力測量、表面質(zhì)量和缺陷檢測等。
本產(chǎn)品適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。多項式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖面，三維線路、混合和固定繪圖，用于階越高度測量的地區(qū)差異繪圖。
三維表面形貌儀技術(shù)特點(diǎn)：
1、每秒一百萬張二維圖像
2、無損表面形貌檢測和分析
3、高精度在線/離線檢測
4、模塊化設(shè)計，超高集成靈活性
5、無需苛刻的工作環(huán)境(振動，噪聲，溫度等)
6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域
三維表面形貌儀應(yīng)用領(lǐng)域：
工業(yè)：
食品安全在線檢測
微電子集成電路表面形貌在線檢測
印刷電路板品質(zhì)檢測
零件器件表面劃痕損傷檢測
微機(jī)械精加工質(zhì)量控制，如鐘表，微機(jī)械器件等
電子產(chǎn)品零件在線監(jiān)控，如手機(jī)，筆記本電腦，平板等
微流體器件三維形貌檢測
在線檢測設(shè)備集成
證件防偽，安檢
科研：
MEMS器件
微機(jī)械零件表面形貌觀察和測量
微光學(xué)器件(太赫茲、紅外、微波、天線陣列)三維形貌表征
生命科學(xué)：生物組織/生物體的 三維形貌測量
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