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太赫茲光譜儀是一種用于物理學、測繪科學技術領域的物理性能測試儀器，太赫茲具有穿透性強、頻譜覆蓋范圍寬、波普分析能力優、定向性好、安全性高等優點。太赫茲光譜儀，是利用太赫茲技術制造而成，應用在透射譜、反射譜分析及成像領域的測試儀器。
太赫茲光譜儀可以廣泛應用在工業、新材料、醫療、科研等領域。在工業領域，太赫茲光譜儀可用于工業無損檢測、產品質量控制、半導體電路故障檢測等方面;
在新材料領域，太赫茲光譜儀可用于新型多晶聚合物、無機化學品等的研究、研發方面;在醫療領域，太赫茲光譜儀可用于生物醫學研究、藥品質量控制、癌癥檢測等方面。太赫茲光譜儀還可以與傅里葉紅外光譜儀相結合，進一步提高產品性能，擴大其應用范圍。
太赫茲光譜儀是一種新型儀器，研發及生產技術還在不斷進步過程中，行業發展逐步成熟。太赫茲光譜儀功能先進，在工業、醫療、科研等領域應用重要性日益突出。
雖然技術不斷進步，但由于研發及生產難度大，現階段太赫茲光譜儀市場價格依然高昂，應用在工業領域，企業的成本壓力高。因此，目前太赫茲光譜儀市場規模偏小，未來還有較大發展空間。
太赫茲光譜儀具有以下一些的特點及優點：
(1)太赫茲光譜的頻段對應很多大分子整體振動模式和分子間振動模式，這些振動模式對于外界環境更為敏感,使太赫茲光譜在物質特性研究方面具有其它測試手段無法企及的優勢;
(2)太赫茲時域光譜技術屬于相干測量，可以同時得到振幅和相位的信息，提高了測量的效率與準確性;
(3)系統對黑體輻射(熱背景)不敏感，其信噪比可高達104，遠高于傳統的傅里葉變換紅外光譜技術;
(4)太赫茲波具有瞬時性，脈寬在皮秒或亞皮秒量級，因而具有很高的時間分辨率,可用于物理、生物、化學等領域的超快過程研究;
(5)太赫茲光子能量很低，只有m eV級別，不會對生物組織產生電離作用，對人體很安全，也可以進行活體組織研究;
(6)太赫茲具有穿透性，對于很多非極性材料((如塑料、紙箱、布料、泡沫等)的穿透性很強，可以進行材料的無損檢測、隱蔽物的檢測，同時水對太赫茲波又有很強的吸收性，利用這一性質可以對食物等產品的質量進行監控。
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