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SEM納米壓痕儀采用真實力傳感器和位移傳感器，可用于測量材料在納米尺度下的機械性能，采用的主動表面參比技術，消除了熱漂移和框架剛度的影響。
因此，非常適用于對所有類型的材料（包括聚合物、納米涂層和軟組織）進行原子到納米尺度的長時間測量。對于極低或極溫度下的測量，真空室版本 (UNHT? HTV) 適用于 -150℃ 至 800℃ 的溫度以及低至 10-7 mbar 的真空度。
SEM納米壓痕儀特性：
眾多塑性與彈性特性的測定，例如壓痕硬度（可轉換為維氏硬度）、壓痕模量以及蠕變。
符合 DIN EN ISO 14577-1 與 ASTM E 2546 標準的材料參數測量與計算。
模塊化構造使其能夠靈活適應客戶特定要求，可追溯性更強。
壓頭：維氏、柏氏或硬質合金球。
測量頭，適用于在恒定溫度下進行的長達數小時的蠕變測量。
具有三種倍率的顯微鏡，適用于測量點的準確定位。
通過快速行進實現自主、高度準確的零位測定。
適用于多測量點自動化測試的可編程 XY 工作臺。
通過高性能 WIN-HCU軟件快速評估并清晰地呈現測量結果。
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