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等離子體質譜ICP-MS的穩定性、靈活性和性能在質譜儀中，具有3種操作模式（標準、碰撞、反應），并且可以從一種模式快速切換到另一種模式。這樣，就可以在同一臺儀器上執行所有分析。它是一款可在不犧牲靈敏度或性能的情況下達到效率的電感耦合等離子質譜操作系統。它兼具碰撞池的簡單便捷和真實反應池的檢出限，是款具有該功能的質譜系統。
等離子體質譜ICP-MS的開、關機步驟：
ICP-MS儀器因廠商品牌的不同，其開機關機步驟略有不同。以PE的EIANDRCⅡ型ICP-MS為例。
（1）開機
①開抽風、氬氣、冷卻水循環機及主機穩壓電源，用DRC時打開反應池所用氣體；
②間隔2s打開儀器左側主機電子系統的4個開關，開啟機械泵及射頻發生器；③打開ELANDRCⅡ軟件；
④點擊“Instruiment”打開儀器面板窗口，點擊啟動真空系統
⑤裝上蠕動泵管，打開“Deviee”窗口，觀察蠕動泵管的進樣及排液是否正常運作；
⑥待真空達到要求后在面板窗口點擊“Plasma”；
⑦Plasma點燃15min后，可以進行儀器日常性能檢查。
（2）關機
①保持Plasma于“on'’的位置，用去離子水或溶劑沖洗系統5min；
②按下“Instrument”鍵并選擇“FrontPane”l表；
③按下“PlasmaStop'’鍵關閉等離子體；
注意：在緊急狀況下可直接按下位于質譜儀面板E的黃色按鈕關閉儀器。
④將進樣毛細管移開去離子水，待進樣管內水分抽于后，釋放蠕動泵管上的壓力；
⑤在“File”鍵中選擇“Exit”離開ELAN操作軟件，若要離開WindowsXP系統，選擇“Start”目錄中之“ShutDown”；
注意：如果要進行間歇性的日常分析，關機時呵將真空系統置于待機狀態，以便減少開機的時間和頻率；若長時間不工作，需要全部關閉，增加步驟⑥～⑦。
⑥停止真空系統，間隔2s關閉儀器左側主機電子系統的4個開關；
⑦關閉冷卻水循環機、氣體、主機穩壓電源和抽風。
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