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對于超純水系統，也就是自來水或蒸餾水經過精細濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水或蒸餾水變得更加干凈。
然后再經過反滲透設備進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，其水質能夠到達國家三級水規范，反滲透設備產水的廢水排掉。
一、精細濾芯
精細濾芯又稱過濾濾芯，分線繞濾芯和PP熔噴濾芯，首要過濾原水中的泥沙等大的顆粒物，其過濾精度有5微米、1微米等。新的濾芯是白色，假如時間長了外表會淤積泥沙等，呈現褐色，這就表明該濾芯不能用了，用自來水沖刷掉外表淤泥后，能夠牽強持續運用1-2周，但不能長期運用。
濾芯放在濾瓶里面，有的濾瓶是透明的，能夠直觀地調查濾芯的顏色改變，有些濾瓶是不透明的，需求將其擰開后才可以調查濾芯的改變。從經歷數據統計來看，精細濾芯的使用時間一般在3—6個月，如原水的泥沙多，則其時間短些，泥沙等顆粒物少，則使用時間稍長一點。
二、活性炭濾芯
活性炭濾芯首先要經過吸附，去除水中的異味、有機物等。自來水中有余氯，對反滲透膜有很大的氧化效果，所以必須由活性炭去除。活性炭濾芯從外表上看沒有直觀的改變，根據經歷來看，一般在一年左右就到達飽和吸附，需求替換。
三、反滲透膜
反滲透膜是超純水系統中十分重要的部件，其孔徑非常小，所以在運用過程中常有細菌等微觀物質淤積在其外表，一般各個廠家的超純水機都有反沖洗功能，旨在洗掉污染物。
用水量在10升/天，能夠沖刷3-5次，超過10升，則多沖刷幾次。假如長時間（如1個月以上）不必，需求將其取出浸泡在消毒液里，避免細菌的滋生，不過該過程比較麻煩。
建議即便不必水，都常常開機用少數的水，讓超純水系統內部的水形成流通，盡量削減死水的沉積時刻過長。反滲透膜的壽命在2-3年，首要由用水量來決議，所以在選時一定要選擇所匹配的標準。
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