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水應滿足離子和有機化學純度檢驗的要求，并應能防止微生物污染。原水可以通過單元操作來凈化，包括去離子、蒸餾、離子交換、反向透析、過濾或其他合適的凈化方法。超純水系統應經過驗證，以便可靠、連續地生產和輸送化學質量和微生物質量合格的水。在室溫下運行的純化水系統尤其受到微生物膜的影響，微生物膜是流出水中活微生物或內毒素的來源。因此，應經常對水系統進行消毒，并對微生物進行監測，以確保使用點的水的微生物質量符合要求。
超純水系統的組成：
1、原水預處理:
原水儲槽及液位控制，原水泵(一般一用一備)，預處理部分(石英砂用于去除顆粒和膠體，活性炭主要用于除氯，軟化劑用于降低水中礦物質含量和鈣鎂離子)，安全過濾器(5UM)也有部分純化水系統不加軟化劑，純化水系統的設計根據當地原水水質決定。
2、反滲透部分
3、電子脫鹽部分
4、純化水儲罐、純水泵、分配管道、不合格回流排放裝置。
在超純水系統的制備過程中，純水電阻率的在線檢測通常用來反映水中各種離子的濃度。一般來說，室溫25℃時，純化水的電阻率應不低于0.5MΩ。CM，注入水的電阻率應不小于1mω·CM。系統制備過程中需要多久測試一次電導率？
電導率的測試頻率主要取決于對采出水水質的要求。不同的行業在生產過程中需要不同的水質。每月檢測一次，飲用水標準每周檢測一次，純化水和注射用水標準的電導率每天都要檢測，不至于因為水質問題影響整個行業的生產效果。但電導率的檢測簡單，耗時短，所以日常檢測水的電導率不會對生產造成很大影響。
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