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三維形貌儀通過光學(xué)捕獲多個(gè)表面圖像，在XYZ軸上將圖像拼接在一起并量化數(shù)據(jù)以計(jì)算粗糙度、臺(tái)階高度、薄膜厚度、曲率、彎曲度和缺陷來表征三維表面形貌。使用傳統(tǒng)的二維光學(xué)顯微鏡，實(shí)現(xiàn)這些是不可能的。有多種不同類型的技術(shù)可用于創(chuàng)建表面的二維和三維圖像，產(chǎn)品使用它們進(jìn)行組合來測(cè)量三維圖像表面。
目前，三維形貌儀適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖面，三維線路、混合和固定繪圖，用于階越高度測(cè)量的地區(qū)差異繪圖。
三維形貌儀的幾大校準(zhǔn)方法：
1、三維形貌校準(zhǔn)：
這一校準(zhǔn)都和形貌測(cè)量的“高度”結(jié)果相關(guān)，所以稱為三維校準(zhǔn)。主要包括對(duì)干涉物鏡參考面形貌誤差的標(biāo)定；以及使用標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階塊對(duì)臺(tái)階高度測(cè)試精度校準(zhǔn)。
2、二維光強(qiáng)校準(zhǔn)：
這一校準(zhǔn)和成像視場(chǎng)范圍內(nèi)的“光強(qiáng)”信號(hào)相關(guān)。設(shè)備有一些功能，可以增強(qiáng)用戶對(duì)樣品表面觀察效果。比如在某觀測(cè)模式下，可以自動(dòng)去除視場(chǎng)中黑白條紋，更清楚地觀測(cè)表面紋理；真彩模式可以復(fù)現(xiàn)表面彩色信息。
由于以上功能相關(guān)標(biāo)定都只涉及“光強(qiáng)”，不涉及到形貌高度，所以稱為二維光強(qiáng)校準(zhǔn)。
3、橫向校準(zhǔn)：
這一校準(zhǔn)是為了標(biāo)定在當(dāng)前設(shè)置下，每個(gè)像素在橫向上代表的尺寸大小。
三維形貌儀很多測(cè)試結(jié)果和分析設(shè)置，如溝槽寬度，孔徑尺寸，坡度斜率，空間濾波，拼接測(cè)量，都基于或和橫向尺寸相關(guān)。對(duì)于這些結(jié)果和分析，橫向尺寸的標(biāo)定是至關(guān)重要的。
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