探針臺是一種成熟的工具,用于測試硅晶片、裸片和開放式微芯片上的電路和設備。它允許用戶將電子、光學或射頻探針放置在設備上,然后測試該設備對外部刺激(電子、光學或射頻)的響應。這些測試可以很簡單,例如連續性或隔離檢查,也可以更復雜,涉及復雜微電路的全功能測試。它的應用行業有許多,常見的包括半導體、光電以及集成電路等行業,半導體企業不僅有效促進了經濟發展。主要用于半導體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關技術領域的電、磁學特性測試,能夠提供磁場或變溫環境,并進行高精度的直流/射頻測量。
可以在整個晶圓上或被鋸成單個芯片后運行測試。整個晶圓級的測試允許制造商在整個生產過程的不同階段多次測試設備,并密切監控制造以查看是否存在任何缺陷。在封裝之前對單個芯片進行測試可以將有缺陷的器件從流通中移除,確保僅封裝功能器件。在整個研發、產品開發和故障分析中都有很大的用途,工程師需要靈活而準確的工具來對設備的不同區域進行一系列測試。
探針臺應放在堅固穩定的臺面上,如地基有震動的情況,需要配置主動防震裝置,避免在高溫、潮濕、激烈震動、陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。使用溫度范圍為5℃~40℃,濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉,使室內達到除濕效果。
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