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X熒光光譜儀的原理就是：X射線管通過產生入射X射線(一次X射線)，來激發被測樣品。 受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線(又叫X熒光)，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量或者波長。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。
X熒光光譜儀的注意事項：
1、在測量過程中，不要突然斷電。
2、不要直接分析低熔點樣品，如低熔點瀝青、苯酚、油漆等，有些樣品在室溫下是固體，經射線照射會融化，如果滴到光管頭上，會損壞儀器。如果要分析，請放在液體杯內測量。
3、在開啟儀器前，一定要注意先開啟載氣。
4、檢查原子化器下部去水裝置中水封是否合適。可用注射器或滴管添加蒸餾水。
5、一定注意各泵管無泄露，定期向泵管和壓塊間滴加硅油。
6、實驗時注意在氣液分離器中不要有積液，以防液體進入原子化器。
7、在測試結束后，一定在空白溶液杯和還原劑容器內加入蒸餾水，運行儀器清洗管路。關閉載氣，并打開壓塊，放松泵管。
8、從自動進樣器上取下樣品盤，清洗樣品管及樣品盤，防止樣品盤被腐蝕。
9、更換元素燈時，一定要在主機電源關閉的情況下，不得帶電插拔燈。
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