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原子熒光光度計是基態原子吸收光源的能量而變成激發態，激發態原子在去活化過程中將吸收的能量以熒光的形式釋放出來，此熒光信號的強弱與樣品中待測元素的含量成線性關系,因此通過測量熒光強度就可以確定樣品中被測元素的含量。
熒光分光光度計在性能比較時應該注意以下幾點：
靈敏度：熒光分光光度計的靈敏度是使用者最在乎的一個指標。靈敏度表明如何獲得噪聲小且數據平滑的指標，該指標越大，系統越好。它也被稱為信噪比。但是靈敏度的測量條件不同，這個指標的數字也不同。若測量條件不一致，如狹縫、響應(時間常量)等，則無法進行不同系統的比較。
光源：除個別案例外，日立熒光分光光度計一般使用150W氙燈作為光源。無臭氧燈在波長小于220 nm處提供很弱的光，若使用小于220 nm的波長作為激發光則是不可能的。
波長范圍：熒光分光光度計的測量波長越寬，應用越廣。
狹縫：也稱為帶寬，它代表在光度計入口和出口處狹縫的寬度。如果狹縫寬度大，則由于光量增加而可以獲得具有相對較低噪聲(靈敏度高)的數據，但是，無法確定光譜的細微峰值。如果狹縫很窄，則可以確定光譜的細微峰值，但是光量會減少，從而導致數據噪聲增加。雖然最終結果主要取決于樣品，但是考慮到熒光分光光度計對微量樣品分析的靈敏度，沒必要縮小狹縫寬度。
響應：如果響應較大，光譜就變得比較平滑，但是光譜形狀會變鈍。當測量激發、發射光譜時，應該依據掃描速度選擇最佳的響應。在一定掃描速度下，如果沒有選擇合適的響應，即使響應比較小，也有可能增加噪聲，使光譜變形。
其他：如三維光譜測量，磷光測量等特殊的測量，可以通過選配軟件來實現。一些儀器型號的標準配置也可執行這些測量。
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