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Agilent IDP-3 渦旋式干泵是一款創新、緊湊、高性能的無油真空泵，適用于多種應用。這款泵是用于常規真空應用的小渦旋泵，可輕松集成到 OEM 系統中，其重量僅有 21 磅 (9.5 kg)。而它具有 60 L/min 的抽速和 250 milliTorr 的出色極限真空度，是行業內性能高的干泵。
目前公轉型多為雙腔臥式泵，而回轉型多為單腔立式泵。其工作原理氣體從周邊吸入向中心壓縮由中間排氣,實現連續吸氣，壓縮和排氣的整個抽氣過程。這種泵壓縮平穩、驅動力矩變化小，故振動小、噪音低(60dB(A))，相鄰的二個月牙腔容積的壓差小，故間隙泄漏也小，而且端面有密封，可得到較高的壓縮比。
干式渦旋泵的優點：
1、旋渦泵是一種構造簡易的高揚程泵。與規格、轉速比同樣的離心水泵對比，其揚程要高3~9倍。與同樣揚程的容量式泵對比，其規格要小，構造也簡易的多。旋渦泵體型小，重量較輕的特性在船只設備中具備巨大的優勢。
2、絕大多數旋渦泵具備自吸式工作能力，或依靠簡易的設備來完成自吸式。
3、旋渦泵具備險峻的揚程特點曲線圖。其揚程的轉變對總流量的危害較離心水泵為小，因而，系統對的工作壓力起伏不比較敏感。
4、許多旋渦泵能完成汽液混輸，這針對運輸帶有汽體的易充分發揮的液體和氣化工作壓力很高的高溫液體具備關鍵的實際意義。
5、旋渦泵構造簡易，鍛造和生產加工都非常容易完成，一些旋渦泵零件可應用非金屬材質壓模。
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