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霧化器是將試液霧化。霧化器是原子化系統(tǒng)的重要部件，其性能對測定的精密度和化學(xué)干擾等產(chǎn)生顯著影響。因此要求霧化器噴霧穩(wěn)定、霧滴細小、均勻和霧化效率高。
PFA霧化器和普通材質(zhì)霧化器選擇，耐HF材質(zhì)一般由聚四氟乙烯、全氟樹脂、陶瓷氧化鋁、聚酰胺等材料制成，主要用于地質(zhì)、土壤、半導(dǎo)體、合金等含硅化物樣品的檢測。另外，普通霧化器由玻璃或石英制成，主要用于環(huán)境水質(zhì)、簡單金屬、及非HF處理樣品檢測。總?cè)芙夤腆w量是ICP-MS霧化器的基本指標，界限值都在5%、10%、20%、25%、30%、40%(W/v)，其中30%、40%的都是V型或平行霧化器。
ICP上用的微量霧化器，適合于含量較高濃度分析和ICP-MS分析。
高鹽霧化器使用高強惰性塑料材質(zhì)，可耐受除濃硫酸以外的所有的酸。霧化過程：樣品從小孔流出，順凹槽流下，與高速載氣相遇，發(fā)生霧化。高鹽霧化器可以耐受很高的總?cè)芙夤腆w量，不易發(fā)生堵塞，但它不是自提升霧化器，需要蠕動泵引入樣品。
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