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開啟式管式爐是一種金屬熱處理工藝，利用紅外燈管加熱技術和腔體冷壁技術，實現快速升溫和降溫，從而實現特定熱處理工藝。指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻，有時是自然冷卻，有時是控制速度冷卻的熱處理方法。
其主要應用領域是以集成電路領域（以硅為代表的一代半導體）和光電子領域（以砷化鎵代表的二代半導體）為代表的半導體領域。在半導體工藝中，熱處理/退火是不可少的工藝，這是因為半導體器件都是為了實現功能化，這就意味著電信號的輸入/輸出，這些都需要金屬電極來協助完成。
開啟式管式爐是由加熱室和自動溫度控制器組成的，下面咱們來詳細了解下：
1、加熱室：由耐火材料和碳化硅、氧化鎂、氧化鋁等組成，電加熱絲為鎳鉻合金絲。外面是用鐵板做的，上面涂有皺紋漆。爐門上有一個小洞，里面嵌著透明的云母片，可以窺視爐子的情況。
2、自動溫度控制器：是電子管的高頻振蕩電路，其中儲能線圈由于耦合儲能裝置的適當配合而固定在一定的振蕩頻率上。儲能線圈具有恒溫指標和大熱電偶溫度計，能清楚地指示高溫燒結爐的溫度。指針上有一面小金屬旗。當爐溫升到所需溫度時，溫度指數很小。當旗子與儲能線圈耦合時，振蕩電流隨機停止，管板極性電流發生變化，使其動作靈敏，然后控制強繼電器切斷電熱絲電流，使溫度不再升高。當溫度下降時，指針的標志與儲能線圈失去耦合，管恢復振蕩，受控強繼電器也恢復振蕩。同時，通過電流可以恢復，爐溫可以逐漸升高，這樣由于電流的不連續性，達到了自動保持一定溫度的目的。
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