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硅酸根分析儀一般由三部分組成：采樣和預處理、鉬藍比色測定和運行控制。待測工業水經采用和預處理后成為符合硅儀要求的樣品水。這一部分屬于取樣和預處理部分；對樣品水進行顯色和比色測定到顯示輸出，這是比色測定部分；運行控制部分控制整個系統的開關和電磁閥的順序動作。
在酸性溶液中，水中的硅會與鉬酸鹽反應形成鉬酸黃，再與還原劑形成鉬酸藍，使溶液呈藍色。藍色的深淺也與試劑水中的硅含量有關，所以待測樣品水中的硅含量可以用光電比色法或分光光度法測定。
硅酸根分析儀根據測定元素的不同，鉬藍法包括硅鉬藍和磷鉬藍。硅鉬藍法用于測定水中的硅含量。磷鉬藍法用于測定水中的磷的含量。硅鉬藍法的分析過程一般可分為三個階段，即顯色、加掩蔽劑和還原。
1、在加入硫酸的酸性溶液中，進行顯色反應，使水中的硅變為可溶性正硅酸鹽H4SiO4，然后與微酸性溶液中的鉬酸鹽反應，生成黃色的硅鉬酸雜多酸，稱為硅鉬酸黃，其分子式為H4SiMo12O40。
2、用掩蔽劑時，由于水中的鐵、磷、沈能與鉬酸鹽發生顏色反應，也能形成黃色絡合物，加入還原劑時，它們會與硅鉬黃一起被還原成鉬藍，從而干擾硅的測定。為此，在硅鉬黃還原前加入掩蔽劑（如酒石酸、草酸），使干擾離子與掩蔽劑形成無色而穩定的絡合物，以防止干擾分析。
3、硅酸根分析儀在還原劑的作用下，被還原的硅鉬黃會被還原成藍色的硅鉬雜多酸，稱為硅鉬藍，除H2SO4和硅在水中形成的可溶性正硅酸外，硅鉬藍法所用的鉬酸鹽有鉬酸銨和鉬酸鈉；酒石酸和草酸作為掩蔽劑；除1-氨基-2-萘酚-4-磺酸作為還原劑外，還有有機還原劑叫羅多爾和青霉素。
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