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一文了解什么是真空光纖饋通

來源:上海聞奕光電科技有限公司   2023年02月07日 10:58  
  真空光纖饋通采用金屬耦合的方式(高真空光纖真空饋通采用O圈密封)來實現更高的真空度,以滿足實驗需求。可以將光導入或導出真空室,以實現超高真空的應用場合,例如半導體處理的光學監測和薄膜吸附的檢測。采用VFT光纖過真空裝置可以檢測真空環境下,樣品的透射/吸收,以及熒光反射等光學反應。
 
  光纖饋通兩端都是SMA905公接頭;可以使用匹配套管連接光纖跳線。對于真空環境內部的饋通面,下方提供ADASMA兼容真空的SMA至SMA匹配套管,可用于連接兼容真空的跳線。此轉接件由304不銹鋼制成,用于超高真空(>10-10 Torr)系統,且具有Ø0.063英寸(Ø1.6 mm)通孔,作為通氣口,以釋放內部氣體。在真空環境中使用光纖跳線時,請確保跳線兼容真空。
 
  在隔空箱和高壓應用場合下有較好的表現,真空度高達Z大 10^-7 mbar ,操作溫度為200 °C(定制最高達300 °C)。
 
  真空室要求壁厚5-40 mm,在腔體上開一個直徑12mm的圓孔即可,注意緊貼O型圈的一面盡量光潔無劃痕。
 
  使用光潔度高的金屬或者玻璃腔體,使VFT在超高真空應用場合的表現得到提高。
 
  VFT光纖過真空裝置除了在半導體和薄膜處理方面的應用,還是環境檢測、藥物學處理和光學涂層生產的理想工具。它還可以應用在分子束外延和化學物理的蒸汽吸附方面,可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優異的通管。
 
  VFT真空光纖饋通的高壓與低壓面的終端可與SMA905連接器相連接,可以簡單地與聞奕光電的光纖、光源、配件共同使用,以及公司的光譜儀等光學設備。
 

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