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鋁上陽極膜厚度測量儀主要包括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾種類型，它們都是采用在真空條件下，通過蒸餾或?yàn)R射等方式在塑件表面沉積各種金屬和非金屬薄膜，通過這樣的方式可以得到非常薄的表面鍍層，同時(shí)具有速度快附著力好的突出優(yōu)點(diǎn)。
其厚度用表面電阻來表示，單位是Ω，數(shù)值越大說明鍍鋁層厚度越薄，一般真空鍍鋁薄膜的表面電阻值為1.0-2.5Ω。其試驗(yàn)原理：試樣金屬鍍層為一段金屬導(dǎo)體，依據(jù)歐姆定律測量規(guī)定長度和寬度試樣的金屬鍍層電阻值，以方塊電阻表示金屬鍍層的厚度或直接計(jì)算其厚度。標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)真空金屬鍍層厚度測量裝置也進(jìn)行了明確規(guī)定，要求電阻測量誤差不大于±1%，裝置的測量寬度不小于100mm，兩測量頭間的距離精度為±0.10mm。
鋁上陽極膜厚度測量儀基于薄膜干涉，這是一種物理現(xiàn)象：薄膜上下表面反射的光波會(huì)相互干擾，產(chǎn)生光的干涉現(xiàn)象，進(jìn)而增強(qiáng)或減弱反射光。當(dāng)膜的厚度是其反射光的1/4波長的奇數(shù)倍時(shí)，來自兩個(gè)表面的反射光會(huì)相互抵消，因此光不會(huì)被反射，全部透射過去了。當(dāng)厚度是光的1/2波長的倍數(shù)時(shí)，兩個(gè)反射波會(huì)互相增強(qiáng)，從而增加反射并降低透射。
因此，當(dāng)由一組波長組成的白光入射到薄膜上時(shí)，某些波長(顏色)的光被增強(qiáng)，而其他波長則被減弱。在這種裝置中，光學(xué)系統(tǒng)在物體表面成一個(gè)點(diǎn)源的像。反射回來的散射的光由同一光學(xué)系統(tǒng)收集，該光學(xué)系統(tǒng)將光點(diǎn)成像在一個(gè)針孔上。針孔位于光電探測器的前面。它可以過濾到達(dá)光譜儀的光線，因此也稱為“空間過濾器”。
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