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干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所*的。
干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
影響干涉儀測量精度的主要因素：
1. 頻率穩定性：在干涉儀中，將波長作為長度基準，頻率變化直接影響測量結果。
2. 大氣折射率。
3. 死程誤差：在零位時，干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是干涉儀的一項重要誤差。
4. 余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。
5. 脈沖當量誤差：干涉儀顯示的最小一個數所對應的量值稱為脈沖當量。
6. 細分誤差：在干涉條紋一個周期內，由插細分不均勻引起的誤差。
7. 阿貝誤差：為避免阿貝誤差，需將角隅棱鏡的頂點調整到所測的直線上，否則由于滑座的角運動誤差引起阿貝誤差。
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