探針臺，是我們半導體實驗室電學性能測試的常用設備，也是各大實驗室以及芯片設計、封裝測試的熟客。設備具備各項優勢，高性能低成本，用途廣，操作方便，在不同測試環境下，測試結果穩定，客觀，深受工程師們的青睞。

探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環節，負責晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩定的信號，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試，實現更加精確的數據測試測量。半導體測試設備主要包括測試機、探針臺和分選機。在所有的測試環節中都會用到測試機，不同環節中測試機需要和分選機或探針臺配合使用。

錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環境的高精度實驗臺，它的諸多設計都是專用的。因此，高低溫磁場探針臺的配置主要是根據用戶的需求進行選配及設計。例如，要求的磁場值，均勻區大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等，均于磁力線在一定區域內產生的磁通密度相關聯；位移臺還可與磁流體密封搭配，實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動；除此之外，該探針臺和我司自主研發的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場的高穩定性。因此，該類型的探針臺主要依據客戶的使用情況進行設計優化。

錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個（可選6個或8個）擁有高精度位移的探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。

可選附件：

t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

t CCD或C-MOS視頻成像裝置

t Chuck運動裝置

t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統

t 1Mpa正壓系統升級

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉接頭

t 靜音真空泵

探針臺的維護和保養：

1.避免碰撞：在安裝，操作探針臺時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發生故障或異常異音。

2.儀器的運輸：儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。

儀器運輸應使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。

3.儀器的存放

使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械精密部件，光學部件，電學接觸面污染，導致儀器精度降低。

探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器，以免發生故障或危險。

探針臺光學部件清潔時，可用鏡頭紙蘸*從中間向外輕輕的擦拭。*時易燃物，注意使用安全。

停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。

操作人員必須嚴格按要**作，以保證數據的準確和儀器的正常使用。

4.工作環境

探針臺應放在穩定可靠的臺面上，最好是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。