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賽默飛X光電子能譜儀利用X射線激發(fā)樣品表面元素的內(nèi)層能級(jí)電子信號(hào)，再用電子能譜儀檢測(cè)光電子的動(dòng)能及強(qiáng)度，進(jìn)而確定元素的種類及價(jià)態(tài)等信息。主要用于研究材料極表面的元素及元素不同價(jià)態(tài)組成。
賽默飛X光電子能譜儀是電子材料與元器件顯微分析中的一種先進(jìn)分析技術(shù)，而且是常常配合使用的分析技術(shù)。
由于它可以更準(zhǔn)確地測(cè)量原子的內(nèi)層電子束縛能及其化學(xué)位移，所以它不但為化學(xué)研究提供分子結(jié)構(gòu)和原子價(jià)態(tài)方面的信息，還能為電子材料研究提供各種化合物的元素組成和含量、化學(xué)狀態(tài)、分子結(jié)構(gòu)、化學(xué)鍵方面的信息。
它在分析電子材料時(shí)，不但可提供總體方面的化學(xué)信息，還能給出表面、微小區(qū)域和深度分布方面的信息。另外，因?yàn)槿肷涞綐悠繁砻娴腦射線束是一種光子束，所以對(duì)樣品的破壞性非常小。
賽默飛X光電子能譜儀的應(yīng)用范圍：
光電子能譜是研究材料表面和界面電子及原子結(jié)構(gòu)的重要手段之一，可提供物質(zhì)表面幾個(gè)原子層的元素定性、定量信息和化學(xué)狀態(tài)信息；可對(duì)非均相覆蓋層（如薄膜）進(jìn)行深度分布分析，了解元素隨深度分布的情況；可對(duì)元素及其化學(xué)態(tài)進(jìn)行成像，給出不同化學(xué)態(tài)的不同元素在表面的分布圖像；還可利用UPS（紫外光電子能譜）研究固體樣品的價(jià)電子和能帶結(jié)構(gòu)及功函數(shù)。廣泛應(yīng)用于固體物理學(xué)、基礎(chǔ)化學(xué)、催化科學(xué)、腐蝕科學(xué)、材料科學(xué)、微電子技術(shù)及薄膜研究。
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