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超純氣體是指純度高達99.999%以上的氣體，其中的雜質成份遠遠低于國際標準規定的最高限制。常見的有氧氣、氮氣、氬氣、氦氣等。由于氣體具有高的純度，因此可以廣泛應用于半導體、光電子、航空航天和化學制品等領域。應用范圍非常廣泛，特別是在微電子制造領域。以半導體材料的生產為例，控制可以保證制程的優異性，避免雜質的影響。例如，在工廠中，空氣中的微粒和雜質會對生產產生不利影響，因為它們可能在接觸表面時未能正常分離，導致缺陷和故障。相對應的，在制造過程中的控制，對產品的質量、性能和制程穩定性具有高的價值。
超純氣體的作用：
1.半導體制造：要制備出高質量的晶體器件，必須使用它。在半導體晶片的制造過程中，如果有雜質的存在，會嚴重影響晶片的質量和性能。
2.醫藥工業：在醫藥工業中的應用也很廣泛。比如制備藥物時需要使用到超純氣氣體來保證產品的純度。
3.食品工業：在食品工業中，被應用于食品包裝和儲存。通過抽取含氧量低的氣體來防止食品氧化。
超純氣體的制備方法：
1.物理吸附法：該方法利用活性炭、硅膠等固體吸附材料將氣體中的雜質物質吸附去除，水相中的可以通過這種方法進行提純。
2.蒸汽解析法：該方法是在高溫下將氣體中的雜質物質分解并去除，這會導致氣體的成分逐漸變化，最終得到純凈的氣體。
3.化學吸收法：利用化學吸收劑對氣體中的目標雜質進行選擇性吸收，真空下吸附裝置吸附空氣中的水和氮氧化物等雜質。
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