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光阻法檢測儀是一種常見的表面缺陷檢測工具，常用于半導體芯片、平板顯示器等電子元件的制造過程中。該檢測儀通過利用光學原理，檢測出樣品表面上的缺陷，并將其圖像化以便于分析和處理。
光阻法檢測儀的基本原理是利用光線在材料表面反射產生干涉現象。當光線照射到樣品表面時，會發生反射和透射，這些光線在樣品表面形成的光波會與自身的反射光波干涉，從而形成一系列明暗條紋。通過觀察這些條紋的數目、間距和顏色，就可以判斷出樣品表面是否存在缺陷。
為了實現精準的檢測，光阻法檢測儀通常采用高分辨率的CCD攝像頭和高亮度的LED光源來記錄和照明。它可以自動控制照明強度、調節相機曝光時間等參數，以獲得最佳的圖像質量。同時，還可以對采集到的圖像進行數字化處理，如濾波、增強、邊緣檢測等，以提高檢測的準確性和速度。
光阻法檢測儀廣泛應用于各種材料的表面缺陷檢測，包括金屬、玻璃、塑料等。在半導體芯片制造中，它可以用于檢測晶圓表面的擦傷、劃痕、氧化等缺陷；在LCD面板制造中，它可以用于檢測玻璃表面的氣泡、污點、裂紋等缺陷。此外，光阻法檢測儀還可以用于紙張、布料、陶瓷等材料的缺陷檢測，以及醫學顯微鏡下的細胞檢測等領域。
總之，光阻法檢測儀是一種高效、準確、可靠的表面缺陷檢測工具，已經被廣泛應用于各種工業領域。隨著技術的不斷進步和應用場景的不斷擴展，它的作用和價值也會越來越受到重視。
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