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透射電鏡液體光學(xué)原位系統(tǒng)采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建液氛納米實驗室，通過樣品臺內(nèi)置的光纖將光作為外場條件搭載其上，通過MEMS芯片和光纖引入的光源對樣品施加光場刺激條件，在進行光學(xué)性質(zhì)測量的同時，結(jié)合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式，實現(xiàn)從納米甚至原子層面實時、動態(tài)監(jiān)測樣品在液氛環(huán)境中隨光場變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)演化、反應(yīng)動力學(xué)、相變、元素價態(tài)、化學(xué)變化、微觀應(yīng)力以及表/界面處的原子級結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。
實驗中，樣品被密封在超薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi)，池內(nèi)可以承載一個大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路，從而在中搭建一個液體-電化學(xué)測試環(huán)境。
透射電鏡液體光學(xué)原位系統(tǒng)采用的技術(shù)有：
1、高分子膜面接觸密封技術(shù)，相比于o圈密封，增大了密封接觸面積，有效減小滲漏風(fēng)險。
2、納流控技術(shù)，通過壓電微控系統(tǒng)進行流體微分控制，實現(xiàn)納升級微量流體輸送，原位納流控系統(tǒng)及樣品桿中冗余的液體量僅有微升級別，有效保證電鏡安全。
3、超高溫鍍膜技術(shù)，芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜具有耐高溫低應(yīng)力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點。
4、多場耦合技術(shù)，可在液相環(huán)境中實現(xiàn)光、電、熱、流體多場耦合。
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