手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
技術參數：
1. 真空室：∅220mm*H400mm；
2. 可鍍最大工件尺寸：60*60mm,配抽拉式樣品臺， 樣品可旋轉；另配備銅基板樣品臺；
3. 真空系統：機械泵+分子泵抽氣系統； 極限真空度：優于 5*10-5Pa；
4. 抽氣時間：大氣壓~8*10-4Pa 小于 30min；
5. 蒸發：電阻式蒸發電極（1 對），可達到 1800℃（只要熔點低于 1600 度的都可以蒸鍍）功率：2KW；
6. 開啟方式：正面開門結構，便于換絲及裝料；
7. 水冷循環系統 0.5P；
注：可根據用戶需要進行配置調整！
2. 可鍍最大工件尺寸：60*60mm,配抽拉式樣品臺， 樣品可旋轉；另配備銅基板樣品臺；
3. 真空系統：機械泵+分子泵抽氣系統； 極限真空度：優于 5*10-5Pa；
4. 抽氣時間：大氣壓~8*10-4Pa 小于 30min；
5. 蒸發：電阻式蒸發電極（1 對），可達到 1800℃（只要熔點低于 1600 度的都可以蒸鍍）功率：2KW；
6. 開啟方式：正面開門結構，便于換絲及裝料；
7. 水冷循環系統 0.5P；
注：可根據用戶需要進行配置調整！
設備結構介紹：
該設備由真空室、真空機組和電氣系統組成
1. 真空室
圓形形腔體，側部抽氣，正面開門。不銹鋼材質，配 DN60 觀察窗（含防污擋板）、預抽接口、充氣接口； 內部有底板、蒸發源等；
2. 真空系統及進氣
采用 110L 分子泵+4L 旋片式機械泵。采用真空波紋管連接，配有復合式數顯真空測量儀表。
3. 電氣系統
電氣系統包括真空機組控制、蒸發與烘烤控制、真空測量控制等部分組成。有安全互鎖機構，有效防止誤操作發生。系統配有 1 套蒸發電源，數顯。
4. 膜厚測量裝置：采用石英晶振膜厚儀及水冷探頭一套（選配）。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心