高低溫真空磁場探針臺T8-EM5的技術參數

錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環(huán)境的高精度實驗臺，它的諸多設計都是專用的。因此，高低溫磁場探針臺的配置主要是根據用戶的需求進行選配及設計。例如，要求的磁場值，均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等，均于磁力線在一定區(qū)域內產生的磁通密度相關聯；位移臺還可與磁流體密封搭配，實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動；除此之外，該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺主要依據客戶的使用情況進行設計優(yōu)化。

錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個（可選6個或8個）擁有高精度位移的探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應用于半導體工業(yè)、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫(yī)學等領域。

測試范圍：

磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試，微電子機械系統，超導電性測試，納米電路的光電屬性，量子點和線，高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。

技術指標：

型號 ：T8-EM5

真空度：高達10^-8Pa

腔體材質：無磁不銹鋼或者鋁合金

磁場范圍：5000Gs@50mm

磁場方向 ：水平（可按用戶要求設計成豎直方向的）

配套電源：雙極性電源±70A

電源穩(wěn)定性 ：50ppm（可選10ppm）

制冷方式 ：液氦/液氮制冷/閉循環(huán)制冷機

溫度范圍 ：5K-325K可選500K

控溫分辨率：0.001K控溫儀相關

溫度穩(wěn)定性 ：優(yōu)于0.1K依賴于控溫儀

溫度傳感器 ：硅二極管/PT100/Cernox^TM

傳感器數量： 樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個

樣品臺尺寸：（max） Φ50mm，平整度≤7μm

樣品臺固定方式： 真空硅脂/彈簧壓片

樣品臺材質： 鍍金無氧銅

顯微鏡行程： X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm

放大倍數 ：16~100X/20~4000X

真空腔觀察窗尺寸： 1.5inch

窗口材料 ：熔融石英（可選K9、氟化鈣等）

探針臂數量： 2、4、6、8可選

探針臂行程： (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換

位移精度 ：10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

接口形式 ：普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA等

探針直徑 ：0.51mm

針尖直徑 ：10μm/5μm/1μm可選

探針材料： 鎢/GGB

供電電壓 ：AC380V 50Hz/60Hz