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影響光柵尺測量精度有如下幾個方面：
A：光學部分 B：機械部分 C：電氣部分 D：使用中的安裝與傳輸接收部分，使用后的精度下降，機械部分自身的偏差。
A、光學部分對精度的影響：
光柵玻璃：主尺精度、每毫米刻線數、刻線精度、刻線寬度等。
光發射源：光的平行度、光衰減。
光接收單元：讀取誤差、讀取響應。
光學系統使用后的影響：污染，衰減。
B、機械部分對精度的影響：
安裝精度。軸承的精度與結構精度。光學組建安裝的精度。
例如，就軸承的結構而言，單軸承支撐結構的軸承偏差無法消除，而且經使用后偏差會更大，而雙軸承結構或多支承結構，可有效降低單個軸承的偏差。
C、電氣部分對光柵尺精度的影響：
電源的穩定對光柵尺精度影響：對光發射源與接收單元的影響。
讀取響應與電氣處理電路帶來的誤差；
電氣噪音影響，取決于光柵尺電氣系統的抗干擾能力；
例如，如果電子細分，也會帶來的誤差
D、光柵尺使用中帶來的精度影響：
輸出電纜的抗干擾與信號延遲（較長距離或較快頻率下）；
接收設備的響應與接收設備內部處理可能的誤差。
光柵尺高速位移時的動態響應偏差。
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