爾迪介紹|臺(tái)階樣板及光柵樣板介紹

來源：上海爾迪儀器科技有限公司 2023年05月12日 17:12

一、臺(tái)階樣板

該類樣板主要用來校準(zhǔn)臺(tái)階儀、光學(xué)輪廓儀、原子力顯微鏡等各種臺(tái)階高度測量儀器。

臺(tái)階高度范圍：10nm～100μm；

臺(tái)階區(qū)域表面粗糙度Sa：優(yōu)于5.0nm；

臺(tái)階區(qū)域均勻性：優(yōu)于15nm；

臺(tái)階樣片尺寸：10mm×10mm。

二、光柵樣板

該類樣板主要用來校準(zhǔn)掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等各種線條尺寸測量儀器。

樣片類型：一維光柵、二維柵格

區(qū)域均勻性：優(yōu)于15nm；

尺寸范圍：100nm～10μm（一維光柵）、2μm～10μm（二維柵格）

線條直線度：優(yōu)于10nm；

類型

具體結(jié)構(gòu)

復(fù)合型光柵樣板

包含一維結(jié)構(gòu)：100nm、200nm、500nm、1μm、2μm、5μm、10μm；

二維結(jié)構(gòu)：2μm、5μm、10μm

微米級(jí)光柵樣板

包含一維、二維光柵結(jié)構(gòu)

結(jié)構(gòu)尺寸：2μm、5μm、10μm

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