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基本結構
現代X射線熒光光譜分析儀由以下幾部分組成;X射線發生器(X射線管、高壓電源及穩定穩流裝置)、分光檢測系統（分析晶體、準直器與檢測器)、記數記錄系統（脈沖輻射分析器、定標計、計時器、積分器、記錄器)。
應用
1.可以進行固體、粉末、薄膜、液體樣品及不規則樣品的無標樣元素的定性定量分析。主要用于金屬、無機非金屬等材料中化學元素的成分分析，范圍從‘Be~92 U。
我們再來看看一些關于X射線熒光光譜儀（XRF）的常見問題吧!
XRF能掃描全部元素嗎?不能做全部元素掃描，因為輕質元素能量躍遷很小，不容易捕捉。最好情況下XRF能檢測Na（第十一號元素）以后的元素。
2.XRF測元素含量時被測元素的化合價態對定量分析結果有沒有影響？
XRF只能進行元素分析，而不能進行價態分析。即它的分析結果包括所有價態的元素總量。例如Cr的分析，它分辨不出材料中Cr是以金屬Cr、三價鉻還是六價鉻的形式存在，只能給出總鉻的含粒
3.X射線衍射儀與X射線熒光光譜儀的區別？
X射線衍射儀（XRD）是礦物學研究領域內的主要儀器,用于對結晶物質的定性和定量分析。
X射線熒光光譜儀（XRF）是通過測定二次熒光的能量來分辨元素的，可做定量或定性分析。
兩種儀器構造與使用對象不同，XRD要復雜，XRF通常比較小。x射線熒光和x射線衍射的區別在于前者是對材料進行成份分析的儀器，而后者則主要是對材料進行微觀結構分析以便確定其物理性狀的設備。
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