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當均質機的壓力達到或超過20000psi(1psi=1英磅/平方英寸) 以上時，高壓均質機稱為超高壓均質機。它可以使懸濁液狀態的物料在超高壓(最高可達60000psi)作用下，高速流過具有特殊內部結構的容腔(高壓均質腔)，使物料發生物理、化學、結構性質等一系列變化，最終達到均質的效果。 超高壓均質機相比高壓均質機有更高的壓力，一般在納米級均質過程使用。
均質原理：樣品(乳液或懸浮液)在高壓下通過均質閥產生剪切、撞擊、空穴作用。當樣品在高壓下通過均質閥，樣品加速并在壓力下勢能轉換，產生剪切效應、撞擊效應和空穴效應。
微斯特均質技術采用微流體金剛石相互作用室(DIXC)在高剪切均質器中生成均勻的納米顆粒。處理后的流體通過Y型和Z型微流體腔(也可以被視為連續微反應器)內的固定幾何形狀，以形成均勻的處理輪廓。通過這種方法，可以實現，納米級乳化，分散，粉碎和破壁等效果。
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