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一、基本構成
1.氣路系統：包括氫氣、氦氣、穩(wěn)壓氣路等氣氛控制系統，維護這部分的工作包括檢查氣路流量和穩(wěn)壓器的穩(wěn)定性等。
2.冷卻系統：包括冷水機、冷凝器、冷卻水管路等，維護這部分工作包括調整溫度、清洗冷卻水管路等。
3.供電系統：包括高壓電源、高頻電源等部分，維護這部分的工作包括檢修電源扇、檢查保險絲等。
二、維護和保養(yǎng)的基本要求
1、定期檢查部件
為了保證ICP光譜儀的準確分析結果，需要定期檢查其各個部分的工作狀態(tài)，包括：
（1）檢查電纜線、接頭處是否松動或生銹；
（2）檢查消解池、離子瓶、噴霧室等組件是否有損壞或嚴重磨損，如有需要及時更換或修繕；
（3）檢查ICP發(fā)生器、氣路控制閥門、脈沖閥等部件是否正常工作；
（4）檢查抽氣泵、冷卻水機等附件部件是否正常；檢查管路是否正常通暢，有無銅屑、腐蝕、漏氣和堵塞現象等。
2、清洗部件
在長時間運行后，管路內將會累積大量雜質和沉淀物，嚴重影響其分析精度，所以應對其進行定期清洗，包括：
（1）對離子瓶、消解池等內部進行定期清洗；
（2）對管路內部進行清洗，如可以結合特定的清洗液，例如硝酸、醋酸等，對各個零件進行專業(yè)清洗；
（3）對分析室進行常規(guī)清洗，以防止小型濺潑物在儀器內部堆積；
3、正確操作使用
正確操作ICP光譜儀，可有效預防儀器故障，以獲得最佳的分析結果，需要遵循以下規(guī)則：
（1）操作前應預熱等離子體，約5分鐘后再加入產生的樣品；
（2）使用譜背景進行校準，以調整光譜儀的靈敏度；
（3）使用規(guī)范的清洗程序，以防止背景干擾；
（4）觀察樣品中的煙霧與碎片是否會對儀器造成傷害。
4、定期維修維護
進行定期維修，可有效延長其使用壽命，提高分析結果的準確性，需要遵循以下規(guī)則：
（1）定期送檢，檢查儀器運行狀態(tài)是否良好，以及有無維護需求；
（2）遵循廠家的使用說明和維修注意事項；
（3）定期更換配件、清洗儀器內部等。
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