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冷鏡露點儀的基本工作過程：被測量氣體通過露點測量室時掠過冷鏡面，當鏡面溫度高于該氣體的露點溫度時，鏡面呈干燥狀態，此時，發光二極管發出的光照在鏡面上，幾乎全部反射，由光電傳感器感應到并輸出光電信號，經控制回路比較、放大，驅動熱電泵，對鏡面制冷，當鏡面溫度降至樣氣的露點溫度時，鏡面上開始結露（或霜），光照在鏡面上后出現漫反射，光電傳感器感應到的反射光信號隨之減弱，此變化經控制回路比較、放大后調節熱電泵激勵，使其制冷功率減小，這樣通過自動控制使冷鏡面上的露（或霜）與氣體中的水蒸氣呈相平衡狀態，此時通過鏡面冷凝狀態觀察鏡，可以判斷鏡而上的冷凝物是液態的露（呈圓或橢圓形）還是固態的霜 （ 呈晶形），鏡面溫度由一緊貼在冷鏡面下方的鉑電阻溫度傳感器感應，準確測量出鏡面的溫度（即露或霜層的溫度），從而獲得氣體的露點溫度。
使用中的問題：
鏡面污染對露點測量的影響
在露點測量中，鏡面污染是一個突出的問題，其影響主要表現在兩方面：一是拉烏爾效應，二是改變鏡面本底散射水平。
拉烏爾效應是由水溶性物質造成的。如果被測氣體中攜帶這種物質（一般是可溶性鹽類）則鏡面提前結露，使測量結果產生正偏差。若污染物是不溶于水的微粒，如灰塵等，則會增加本底的散射水平，從而使光電露點儀發生零點漂移。
一般說來，工業流程氣體分析污染的影響是比較嚴重的。但即使是在純氣的測量中鏡面的污染亦會隨時間增加而積累。 為了消除污染的影響，人們摸索出各種各樣的方法。直觀的方法是對被測氣體進行過濾。
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