lintec液體質量流量控制器原理及產品特點

液體質量流量控制器原理

液體質量流量控制器是氣體質量流量的自動控制儀器，液體質量流量計是測量液體質量流量的儀器。

質量流量控制器利用熱容量和流量控制閥的PID控制，通過質量流量測量原理調節開度，自動控制質量流量。

液體質量流量控制器特點 【林泰克】

LINTEC的液體質量流量（質量流量控制）是液體質量流量控制的先驅，它是為響應半導體行業對TEOS等液體汽化供應技術的需求而在開發的。

液體質量流量控制

液體的流量測量包括體積流量和流速測量，從精度和穩定性的角度來看，具有微小流量的液體質量流量控制器（質量流量控制）已成為半導體成膜過程中不可缺的技術。

高精度

在半導體制造過程中，在價格和處理能力上優于氣體的TEOS等液體源被蒸發并沉積薄膜。 在制造工藝方面，供應量很大，許多最新的原材料都是低蒸氣壓的材料。 在傳統的燃氣MFC焙燒方法中，供應量和耐熱溫度是瓶頸，因此需要溫度約束少且供應量大的直接汽化方法。 但是，在直接汽化方法中，反應氣體的流速控制在液相中，因此小誤差會極大地影響反應。

以H 2 O為例，當1ml液相在理想狀態下汽化時，膨脹到1，244ml。 它已成為半導體制造設備不可缺的技術，當需要對微小流量進行高精度流量控制時，它控制液體流速并汽化和反應。

穩定性

1 ml/min 或更低的流量控制裝置包括計量泵，但計量泵連續執行機械開關操作，這會導致脈動。 沒有機械開關的注射泵不會脈動，但泵的體積有限，因此不適合連續進料。

此外，當將液體引入具有受控流量的真空裝置時，由于計量泵的壓差，流量無法穩定。

液體質量流量控制器的流量控制是將加壓到恒定壓力的液體如氣體引入液體質量流量控制器中，用內部流量傳感器檢測瞬時流量，并不斷控制閥門開度，使流量無論二次側減壓還是大氣壓都能控制在恒定水平。

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