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氪分析用氦離子色譜儀的用途主要是對電子工業用氣體中的痕量雜質進行檢測。
它可以分析高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質或C1-C4等碳氫化合物的含量，最小檢測濃度可達5ppb，具有痕量雜質檢測的能力。
氪分析用氦離子色譜儀原則上可以檢測除氖氣以外所有物質。根據實際需要，可以通過選用不同色譜柱測定多種高純氣體中的多種雜質氣體成分，還可以配接毛細管柱，擴大分離效能，檢測更多種成分。
注意點：
1.儀器的接地很重要，必須保證儀器及人員的安全。
2.儀器的氣路應采用高純度氣體，進氣口應加裝氣體過濾器。
3.儀器的氣路管道盡可能短，以減少氣體流動阻力。
4.氦離子化氣相色譜儀的進樣口溫度應高于室溫，以防止氣體凝結在進樣口上。
5.在使用過程中，應嚴格按照操作規程操作，否則會造成儀器損壞或人員傷亡。
6.在使用過程中，應注意觀察儀器的工作狀態，發現問題應及時處理。
7.儀器應放置在干燥、通風、無腐蝕性物質的環境中，避免陽光直射。
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