無論是實驗室制得的氣體、還是鋼瓶中的氣體，在使用之前都必須預先純化以除去痕量其他氣體雜質。并需要防止塵埃污染和吸濕。

   高純氣體污染主要發生在貯藏、運輸和計量的過程中。保持高純氣體的質量的關鍵是謹慎處理高純氣體。在實際工作中，要使高純氣體不受污染，需要有許多嚴格的控制措施，在條件許可的實驗室都應設置專用的貯氣室，將氧化性氣體與還原性氣體分開放置，將可燃性氣體與不可燃氣體分開放置，以防止意外爆炸事故發生。在使用高純氣體時，為保證高純氣體不受污染或將污染減少到程度，應注意下列問題。

(1)選用合適的壓力調節閥和傳輸管道壓力調節閥要求。嚴密不漏氣，輸出壓力穩定;調節閥與氣體接觸部分的構件具有耐腐蝕性;在閥內或管道內配備過濾器(如燒結金屬過濾器或微孔過濾系統)，以便濾除微粒，減低顆粒物質在高純氣體中的含量傳輸管道應盡可能采用潔凈的金屬管如不銹鋼或聚四氟乙烯管。管子安裝只能用聚四氟乙烯扎帶。

(2)嚴格清洗氣體傳輸系統的各組成部分，必須事先用合適的去油脂溶劑如三氯乙烯清洗管道等部件上的微粒、油污、吸附物、水分等。各部件組裝后在使用這這前，應抽空并用惰性氣體如干燥的氮氣來吹洗用以除去水氣等雜質。

(3)限定氣瓶的使用的壓力，因為在高壓下氣體中的雜質可能吸附在氣瓶內壁上，而當氣瓶壓力下降時，被吸附在內壁上的雜質會解吸下來，因而，應限定氣瓶的使用壓力。

(4)在使用過程中，要經常檢查氣瓶和傳輸系統的密閉性，若發現漏氣，應及時采取措施。

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