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硅微熔壓力變送器的測量原理基于什么?

來源:麥克傳感器股份有限公司   2023年11月11日 16:21  
   硅微熔壓力變送器是一種高精度的壓力傳感器,具有體積小、精度高、穩定性好等特點,被廣泛應用于工業自動化、氣體分析、環保監測等領域。
 
  它的核心部分是硅芯片,它具有高靈敏度、高穩定性、高抗干擾性等優點。硅芯片的制造過程非常復雜,需要經過多道工序才能完成。首先是將硅材料進行拋光處理,使其表面光滑,然后通過離子注入、熱處理等工藝,將硅芯片制作成具有彈性、耐高溫、耐腐蝕等特點的傳感器。
硅微熔壓力變送器
  硅微熔壓力變送器的測量原理是基于硅芯片的形變,通過測量形變量來測量壓力值。
 
  當外界壓力作用在硅芯片上時,硅芯片會發生形變,從而引起電阻值的變化,通過測量電阻值就可以得到壓力值。
 
  由于硅芯片的制造工藝非常精確,因此它的測量精度非常高,能夠達到更高。
 
  除了高精度之外,還具有穩定性好、可靠性高、壽命長等特點。
 
  由于硅芯片的材料是硅,是一種化學性質非常穩定的元素,因此不會受到氣體、液體等介質的腐蝕和侵蝕,保證了傳感器的長期穩定性。
 
  由于硅芯片的體積小,使得整個傳感器的體積也非常緊湊,方便用戶安裝和使用。
 
  硅微熔壓力變送器是一種基于硅微機電系統(MEMS)技術制造的壓力傳感器,具有高精度、高可靠性和高穩定性的特點。

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