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超純氣體是指氣體中雜質的含量非常低，純度高達99.999%以上的氣體。它們在許多領域都有廣泛的應用，包括制作電子元件、光學元件、太陽能電池、化學分析等。
超純氣體的制備大多是從工業氣體加以純化，有吸附法、吸收法、薄膜擴散法、電解法、生化法、輻射法、光解法、低溫精餾法、催化法等。以氮氣為例，超純氮氣可以從空氣中提取，通過低溫吸附的方法純化。而粗氬也可以從合成氨弛放氣中提取，再經純化而得超純氣體。
超純氣體在各個領域都有廣泛的應用。例如，在電子元件制造過程中，純度高達99.999%的氫氣可以用于去除氧化層，從而保證芯片的質量。另外，高純度氮氣也可以用于制造有機LED器件，這些器件具有高亮度和長壽命等優點。
除了電子元件制造外，高純度氣體在化學分析、生物制藥、太陽能電池等領域也有廣泛的應用。例如，在生物制藥過程中，高純度氧氣可以用來增強細胞的代謝活性，從而提高生產效率。在太陽能電池制造過程中，純度高達99.999%的氫氣可以用來清洗晶體硅片，從而提高太陽能電池的轉換效率。
總之，超純氣體的制備和應用是一個重要的課題。通過采用先進的制備技術，并采取有效的措施來保持氣體的高純度，可以得到高純度氮氣、氫氣、氧氣等氣體，在各個領域中有廣泛應用。
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