單硅片壓力傳感器的校準(zhǔn)方法

來源：上海蒸鑫電子科技有限公司 2024年03月26日 11:33

單硅片壓力傳感器的校準(zhǔn)方法：

零點校準(zhǔn)：

手動校準(zhǔn)：通過調(diào)節(jié)微調(diào)電位器對傳感器進(jìn)行零點校準(zhǔn)，并使用萬用表驗證。

軟件校準(zhǔn)：使用相應(yīng)的軟件對傳感器進(jìn)行零點校準(zhǔn)。

機(jī)械校準(zhǔn)：通過機(jī)械方法對壓力傳感器進(jìn)行零點校準(zhǔn)，例如調(diào)整傳感器殼體位置。

滿度校準(zhǔn)：

手動校準(zhǔn)：設(shè)定相應(yīng)的壓力值并進(jìn)行調(diào)節(jié)，使傳感器輸出對應(yīng)的電壓值等于壓力值。

機(jī)械校準(zhǔn)：通過微調(diào)傳感器感受元件的結(jié)構(gòu)或調(diào)整機(jī)械部件的位置，達(dá)到校準(zhǔn)所需值。

線性校準(zhǔn)：按照設(shè)定的校準(zhǔn)點，在不同壓力下進(jìn)行校準(zhǔn)，記錄每個校準(zhǔn)點的設(shè)定值和傳感器輸出值。

計算誤差：根據(jù)實際測得的傳感器輸出值和設(shè)定的校準(zhǔn)值，計算出每個校準(zhǔn)點的誤差值。通常以百分比或壓力單位表示。

調(diào)整校準(zhǔn)參數(shù)：根據(jù)計算得到的誤差值，調(diào)整校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)參數(shù)，這通常包括增益和偏移量兩個參數(shù)。

重復(fù)校準(zhǔn)：重復(fù)執(zhí)行零點校準(zhǔn)、滿度校準(zhǔn)、線性校準(zhǔn)等步驟，直至校準(zhǔn)結(jié)果滿足要求。根據(jù)實際情況，可以調(diào)整校準(zhǔn)點和校準(zhǔn)參數(shù)。

校準(zhǔn)記錄：記錄校準(zhǔn)點、校準(zhǔn)參數(shù)、誤差值等信息，以便后續(xù)參考和比較。

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