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三氟化氮檢測儀的設計特點與功能

來源:深圳市深國安電子科技有限公司   2024年04月15日 18:58  
  三氟化氮檢測儀是一種用于監測三氟化氮(NF3)氣體濃度的儀器,主要應用于半導體芯片、平板顯示器、光纖和光伏電池等行業。在這些行業中,三氟化氮通常作為等離子蝕刻氣體和反應腔清洗劑使用。檢測儀能夠實時監測空氣中的三氟化氮濃度及泄漏狀況,確保工作環境的安全。
  三氟化氮檢測儀設計特點:
  1.工業級標準:檢測儀是按照工業級設計標準研發生產的,這意味著它具備高可靠性和穩定性,適合在各種工業環境中使用。
  2.防爆設計:該檢測儀具有防爆特性,獲得了國家防爆電氣產品質量監督檢測中心頒發的防爆合格證,確保在潛在爆炸性環境中的安全使用。
  3.智能模塊化傳感器:采用智能模塊化傳感器設計,即插即用,自動識別。這種設計允許通過更換不同的傳感器來檢測多種氣體,提高了儀器的靈活性和經濟性。
  4.內置進口傳感器:配備高精度的進口傳感器,確保了檢測結果的準確性和可靠性。
  三氟化氮檢測儀功能:
  1.在線監測:能夠實時監測三氟化氮(NF3)氣體的濃度,及時發現潛在的危險或泄漏情況。
  2.報警功能:當檢測到三氟化氮氣體超過預設的安全閾值時,儀器會發出報警,提醒操作人員采取相應的安全措施。
  3.多用途:適用于半導體芯片、平板顯示器、光纖、光伏電池等行業,在這些行業中,三氟化氮通常作為等離子蝕刻氣體和反應腔清洗劑使用。

三氟化氮檢測儀

 

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