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在半導(dǎo)體領(lǐng)域，硅片作為常用的基材被廣泛應(yīng)用在芯片、集成電路和電子器件的制造上。目前在硅片的整個加工過程中需要使用鍍膜設(shè)備對硅片的表面進行鍍膜。其中硅片是放置在石墨舟中，由硅片輸送線輸送而來，這里硅片輸送線并不直接將石墨舟輸入到鍍膜設(shè)備中，而是先由轉(zhuǎn)運設(shè)備將硅片輸送線上的石墨舟中的硅片轉(zhuǎn)運到中轉(zhuǎn)石墨舟中，然后轉(zhuǎn)運設(shè)備再將中轉(zhuǎn)石墨舟輸送到鍍膜設(shè)備中；當(dāng)鍍膜設(shè)備對硅片鍍完膜后，轉(zhuǎn)運設(shè)備再將裝有鍍膜后的硅片的中轉(zhuǎn)石墨舟中的硅片放到硅片輸送線上的石墨舟中，并在放置完成后向該中轉(zhuǎn)石墨舟重新裝入未鍍膜的硅片；另外硅片輸送線還將裝有鍍完膜的硅片的石墨舟輸送走；其中轉(zhuǎn)運設(shè)備在將中轉(zhuǎn)石墨舟中的鍍完膜的硅片轉(zhuǎn)運到硅片輸送線上的石墨舟前，還需要通過視覺檢測設(shè)備或者人工來判斷中轉(zhuǎn)石墨舟中鍍完膜的硅片是否合格。
提供了一種硅片搬運設(shè)備，包括安裝板、固定裝置、第一驅(qū)動裝置和硅片取放裝置；安裝板的頂面對稱安裝有兩個固定裝置，固定裝置用于固定中轉(zhuǎn)石墨舟；第一驅(qū)動裝置與安裝板連接，被配置于帶動安裝板旋轉(zhuǎn)；硅片取放裝置用于向固定裝置上的中轉(zhuǎn)石墨舟中放入硅片或者從固定裝置上的中轉(zhuǎn)石墨舟中取出硅片；包括兩條輸送線和兩個第二驅(qū)動裝置，兩條輸送線的輸送方向平行設(shè)置；一個第二驅(qū)動裝置與一條輸送線連接，被配置于帶動輸送線沿與輸送方向水平垂直的方向往返運動；還包括緩存架，緩存架上設(shè)有至少兩個石墨舟支撐工位，石墨舟支撐工位在輸送線上方；還包括搬舟裝置，搬舟裝置用于將固定裝置上的中轉(zhuǎn)石墨舟搬運到一條輸送線上，將另一條輸送線上的石墨舟搬運到固定裝置上或者先搬運到石墨舟支撐工位上然后再從石墨舟搬運工位搬運到固定裝置上。
輸送板的頂面安裝有用于支撐中轉(zhuǎn)石墨舟的四個支撐滑輪，四個支撐滑輪呈長方形分布，輸送板的頂面上還設(shè)有兩個分別用于定位中轉(zhuǎn)石墨舟的前側(cè)面和后側(cè)面的定位滑輪組件，其中一個定位滑輪組件與滑輪伸縮動力裝置的伸縮端連接，滑輪伸縮動力裝置的固定端安裝在輸送板的頂面上；輸送板的頂面上還安裝有海綿墊，海綿墊在兩個定位滑輪組件之間。
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