AFM/SEM二合一顯微鏡-FusionScope作為一款全新的集成式顯微鏡，擁有強大的材料形貌表征能力。設備通過SEM側向視野，精準定位探針位置，針對性地對目標區域進行掃描，在半導體加工、薄膜材料、磁性樣品等領域都具有突出的應用優勢。同時，FusionScope還具有免樣品轉移、高清快速成像、一鍵完成模塊導航等優勢，在實際測試中為研究者帶來了極大的便利。

基于聚焦電子束誘導沉積方法制備的具有精確納米尺度3D幾何結構的等離子體納米結構，采用FusionScope進行了原位尺寸表征（Adv. Funct. Mater. 34, 2310110, 2023）；通過低溫刻蝕法制備的具有高深寬比的納米線陣列，也采用FusionScope進行了高度、形貌、均勻性和粗糙度等方面的細致分析與總結（Appl. Phys. Rev. 11, 021211, 2024）。這些研究表明，FusionScope在材料科學研究中具有廣泛的應用前景。

除此之外，FusionScope在力學測試中同樣具有優異的表現。通過SEM提供的視野，研究者可以實現對特定樣品表面的力學性能測試，并且能夠清晰地觀察探針對樣品的壓痕過程。無論是想要探究材料的硬度、彈性模量還是斷裂韌性，能在FusionScope中得到答案！

AFM/SEM二合一顯微鏡-FusionScope

1. 單根納米柱的彈簧常數測試

FusionScope可以精確測量單根硅納米柱樣品的彈簧常數。設備可以在SEM視野下將探針精確定位于硅納米柱樣品頂端，探針在不斷接觸與返回過程中即可得出力位移曲線，通過探針施加的力與納米柱位移的比值計算得到樣品的彈簧常數（Microscopy Today, 17-22, 2023）。

探針測量單根硅納米柱動態過程

探針測量單根硅納米柱快閃圖

樣品的力學曲線

2. 納米壓痕試驗測試樣品硬度

FusionScope可以輕松實現在納米壓痕實驗中的力學控制，以靜制動，原位視野下輕松測試，可視化呈現納米壓痕。通過設置不同的力測試納米壓痕的效果，得到樣品硬度信息。在SEM視野下測試納米壓痕的效果精確計算壓痕的面積，可以避免偽結果的影響。

探針在樣品表面壓痕

壓痕區域面積的AFM圖像

3. 復雜樣品表面的力學信息測量

FusionScope能夠快速對具有不規則表面的載藥顆粒進行力學測試與動態測量過程。如下樣品主要成分為VitaminC，通過掃描電鏡可以觀察到樣品表面崎嶇不平，粗糙度較高，在進行力學測試過程中，能夠通過SEM觀察到一種階段式下針過程，從而得到分段式力學曲線，二者相輔相成，互為驗證。

傾斜樣品的力學曲線測量動態過程

傾斜樣品的力學曲線測量快閃圖

階段式力學曲線測試結果

4. 定制化實現不同力學測試需求

通過無探針懸臂梁自制球形探針，滿足定制化的各種需求。無探針懸臂梁頂端蘸取SEM固化膠，通過電鏡視野尋找合適的樣品球并進行電子束轟擊對其進行固化，從而實現對球形末端懸臂梁的制備。探針下壓并且實現對球形樣品的力學性能測試，得到力距離曲線，全過程在SEM視野下可見。

無探針懸臂梁尋找樣品球并且對其進行固化過程

制備完成的球形端探針

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