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使用NexION 1100G ICPMS分析高純石英樣品中的雜質元素

來源:珀金埃爾默企業管理(上海)有限公司   2024年09月12日 17:12  

本文介紹了使用NexION 1100G ICPMS測試高純石英材料中的多種元素雜質。

 

 

高純石英具有穩定的化學特性、優異的電絕緣性和透光性,是半導體行業不可或缺的原材料之一。為了得到高純石英,需要去除石英原料的的多種雜質。元素雜質是影響高純石英質量的重要指標,需要精確測量,其中堿金屬、堿土金屬及過渡金屬最為關注。

 

在百級潔凈臺將石英樣品使用高純氫氟酸溶解,溶解后的樣品在解熱版上趕酸至近干,之后使用2%氫氟酸復溶,溶液上機測試即可。

 

圖片

圖 1 測試元素標準曲線

 

測試結果如下表,為了驗證測試結果的準確度,對平行-1的溶液樣品進行了加標回收實驗,元素的加標濃度均為100ppt,結果如下:

 

圖片

 

珀金埃爾默NexION 1100G系列電感耦合等離子體質譜儀采用四極桿作為反應池,使用活性反應氣消除如40Ar+40Ca+40Ar16O+56Fe+的質譜干擾,同時利用四極桿反應池的質量篩選功能控制氨氣產生的副產物,徹底消除測試過程中遇到的質譜干擾,保證測試結果的準確度。

 

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